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電子無(wú)塵車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)要求

作者:電子無(wú)塵車(chē)間裝修 瀏覽量:1776 來(lái)源:電子無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì) 時(shí)間:2022-10-11 17:55:35

信息摘要:

對(duì)于電子無(wú)塵車(chē)間?要求中氣流的滿(mǎn)布要求是不能忽略的重點(diǎn)。這代表著流動(dòng)的氣體能夠覆蓋車(chē)間內(nèi)部空間的比例是否足夠,是否能做到這個(gè)車(chē)間內(nèi)空間的基本覆蓋率。

  電子無(wú)塵車(chē)間有著對(duì)噪音的要求、車(chē)間內(nèi)外壓差的要求、車(chē)間氣流滿(mǎn)布的要求、車(chē)間溫濕度的要求、對(duì)潔凈度的要求、冷負(fù)荷要求、對(duì)新風(fēng)系統(tǒng)的要求、抗靜電的要求、對(duì)新鮮空氣的要求等方面的標(biāo)準(zhǔn)要求。

  1、車(chē)間內(nèi)噪音的要求

  噪音會(huì)對(duì)作業(yè)員的工作效率和狀態(tài)產(chǎn)生影響,因此也是首要關(guān)鍵的一環(huán)。一般在靜止空態(tài)條件下要求車(chē)間內(nèi)的噪音標(biāo)準(zhǔn)要在60db以下。

  2、車(chē)間內(nèi)外壓差的要求

  對(duì)于無(wú)塵車(chē)間而言需要有穩(wěn)定的氣體流動(dòng)才能做到除塵的目的,因此一定要存在有壓差。

  在車(chē)間室內(nèi)和室外一般要求壓差不能小于10pa,在車(chē)間內(nèi)部的潔凈區(qū)域和非潔凈區(qū)域的壓差則不能小于5pa。

  3、車(chē)間氣流滿(mǎn)布的要求

  對(duì)于電子無(wú)塵車(chē)間要求中氣流的滿(mǎn)布要求是不能忽略的重點(diǎn)。這代表著流動(dòng)的氣體能夠覆蓋車(chē)間內(nèi)部空間的比例是否足夠,是否能做到這個(gè)車(chē)間內(nèi)空間的基本覆蓋率。

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  對(duì)于單向流動(dòng)的滿(mǎn)布率要在40%以上,而垂直流動(dòng)的要在60%以上。

  4、車(chē)間溫濕度的要求

  車(chē)間內(nèi)部一定要配備有空調(diào)凈化系統(tǒng)來(lái)保障溫濕度,還應(yīng)添加新風(fēng)系統(tǒng)和超溫保護(hù)系統(tǒng)以及防低溫系統(tǒng)等等設(shè)施。

  5、對(duì)潔凈度的要求

  由于生產(chǎn)工藝種類(lèi)繁多,對(duì)潔凈度等級(jí)要求也不同,高的很高,低的很低。

  對(duì)粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對(duì)溫濕度控制的要求相對(duì)較高,如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1~±1℃)。

  相對(duì)濕度基數(shù)為40%(精度±2~±5℃;正壓值要求的梯度級(jí)別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。

  6、冷負(fù)荷要求

  電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間大很多,單位冷負(fù)荷達(dá)400~500W/㎡很常見(jiàn)。由于冷負(fù)荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。

  7、對(duì)新風(fēng)系統(tǒng)的要求

  電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過(guò)程產(chǎn)生的有害氣體種類(lèi)繁多,且量也大,所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一,排放前要做處理,使排風(fēng)負(fù)荷環(huán)保要求。

  8、抗靜電的要求

  電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類(lèi)多,對(duì)純度和潔凈度要求高:

  9、對(duì)新鮮空氣的要求

  補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。保給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。


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