一、換風(fēng)

在加工過(guò)程中，不對(duì)其他要素構(gòu)成影響的情況下，減小顆粒的速率是很重要的。

二、單邊的、流場(chǎng)的、豎直或水準(zhǔn)氣旋

空氣污染物將會(huì)存有于手套箱、過(guò)慮操控模塊等區(qū)域。豎直或水準(zhǔn)氣旋的挑選，在于屋子的結(jié)構(gòu)和機(jī)器設(shè)備的放置部位，流場(chǎng)就能夠?qū)⒖諝馕廴疚飵ァ?/p>

三、空氣凈化系統(tǒng)軟件

依據(jù)無(wú)塵車(chē)間外的主要用途，還能夠挑選其他的機(jī)器設(shè)備，比如，在循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)加新風(fēng)系統(tǒng)處理系統(tǒng)軟件中，運(yùn)用HEPA過(guò)濾設(shè)備用碳吸咐或類(lèi)似效果的生成過(guò)濾設(shè)備處理VOC，靜電感應(yīng)過(guò)慮箱。

四、氣體壓力差

無(wú)塵車(chē)間等潔凈室添加是需要的，它的作用是讓潔凈室不受到其鄰近區(qū)域的環(huán)境污染，操作危害空氣污染物的流入，避免 不一樣區(qū)域間的穿插式環(huán)境污染，并幫忙保持所規(guī)定的溫度和環(huán)境濕度水準(zhǔn)。

五、溫控

溫度和環(huán)境濕度的變動(dòng)能夠構(gòu)成生產(chǎn)線(xiàn)設(shè)備的差錯(cuò)，從而危害加工過(guò)程的準(zhǔn)確性，然后構(gòu)成良品率削減、進(jìn)步耗費(fèi)。因此，潔凈室對(duì)溫度嚴(yán)控規(guī)定是顯而易見(jiàn)的，此項(xiàng)花費(fèi)是需要的。